【招标公告】安徽大学集成电路实验室特气装备及监控系统（一期）采购项目答疑变更公告

一、原公告主要信息 原项目名称：安徽大学集成电路实验室特气装备及监控系统（一期）采购项目
原项目编号：2024BFAHZ02989
原公告日期：2024年11月22日
二、公告内容（更正事项、内容及日期等）
安徽大学集成电路实验室特气装备及监控系统（一期）采购项目更正公告
一、项目基本情况
项目编号：2024BFAHZ02989
项目名称：安徽大学集成电路实验室特气装备及监控系统（一期）采购项目
首次公告日期：2024年11月22日
二、更正信息
更正事项：☑ 采购公告    ☑ 采购文件   □ 采购结果
更正内容：
1.本项目获取招标文件截止时间、提交（上传）投标文件截止时间（开标时间）变更为：2024年12月23日9点30分。
2.本项目提交（上传）投标文件地点（开标地点）变更为：合肥市滨湖新区南京路2588号要素交易市场A区（徽州大道与南京路交口）2楼8号开标室。
3.招标文件第三章“采购需求”的气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表中，CHF3、N2O、SF6的“称重传感器”项均变更为“Yes”。
4、招标文件第三章“采购需求”的第3.2.3条“尾气处理系统”中，统一删除“NF3”。
5、招标文件第三章“采购需求”的气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表中，“PG”统一变更为“PT”。
6、招标文件第三章“采购需求”的阀门分配箱/阀门分配盘(VMB/VMP)配置要求表中，SIH4、NH3、H2/N2、H2的“控制器Z吹扫”项均变更为“Yes”。
更正日期：2024年12月05日
三、其他补充事宜
1.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，H2/N2为可燃性气体，规范无强制要求，H2/N2,PH2 GC/VMB配置的UVIR是否可优化取消？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    2.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，N2O行业内一般按惰性气体做成GR及VMP的形式，N2O的供应及输送方式是否需要改成GR及VMP？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    3.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，PO2行业内一般按惰性气体做成GR及VMP的形式，PO2的供应及输送方式是否需要改成GR及VMP？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    4.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，PN2主管需要配置7N纯化器，能否修改？
    答：经采购人确认，按照9N纯化器配置。
    5.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，能否提供PN2的平均及峰值使用流量？纯化器是安装在吹扫气架还是安装在VMP主管？
    答：经采购人确认，投标人按招标文件进行配置，以招标文件要求为准。
    6.招标文件第三章“采购需求”中，“调压阀：此类器件的选用应适合所有工艺气体，需二次熔炼达到高纯UHP等级，高压69mpa，5000L大流量”，此处调压阀的耐压值及流量要求，能否根据实际对应要求进行合适调整选型？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    7.招标文件第三章“采购需求”中，气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表要求10.4”触摸屏操作，能否修改？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    8.招标文件第三章“采购需求”中，气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表要求O2配置高压保压，能否修改？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    9.招标文件第三章“采购需求”中，气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表要求O2配置EFS，能否修改？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    10.招标文件第三章“采购需求”中，气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表要求停电时强制供气(一键强供)OFF/ON，此功能能否用电磁阀强制开启的功能替代？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    11.招标文件第三章“采购需求”中，阀门分配箱/阀门分配盘(VMB/VMP)配置要求表，VMB内是否需要配置UVIR？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    12.招标文件第三章“采购需求”中，“仪控系统，设置于可燃性气体贮存区域的仪表及电气设备必须是本安防爆型或以防爆外箱保护”，可燃性气体的电气设备是否可使用Z-Purge 保正压的防爆设计形式？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准：按防爆要求配置。
    13.招标文件第三章“采购需求”中，“仪控系统，设置于可燃性气体贮存区域的仪表及电气设备必须是本安防爆型或以防爆外箱保护”，GC设备内部的PT及电子秤是否需要使用防爆型号？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    14.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，第15项“监控系统（GMS）”要求“PLC模块配置合理，CPU冗余”，是否可采用非冗余1200或1500CPU？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    15.招标文件第三章“采购需求”中，针对“基础网路要求”第（4）条要求，ECP与各I/O盘之间通过ET200SP方式连接是否可以？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    16.招标文件第三章“采购需求”中，针对特气监控系统(GMS)硬件配置要求的“监控主机”，监控组态软件是否可采用1万点（运行版）？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    17.招标文件第三章“采购需求”中，针对特气监控系统(GMS)硬件配置要求的“电力盘”，UPS容量是否可以小于30KVA，60分钟，配通讯卡？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    18.招标文件第三章“采购需求”中，针对特气监控系统(GMS)硬件配置要求的“电力盘”，一次侧电箱到二次侧电箱的电缆由哪方负责？
    答：经采购人确认，由中标人负责提供。
    19.能否提供侦测器配置清单，以确定侦测器数量？
    答：需按照GC/VMB配置对应抽风及环境取样点，及工艺机台端抽风及环境取样点。本次招标总数量不少于30个（需供货）。
    20.本项目附件图纸中包含如CHF3、NH3等系统灰色设备及管道，该灰色部分内容是否在工作范围之内？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    21.二次配管道系统及GMS系统是否在本包工作范围之内？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    22.本项目附件图纸中气体房配置等离子尾气处理器一台，相关采购需求文件该配置为加热催化吸附尾气处理器一台，烦请确认需求？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    23.本项目附件图纸中干式吸附式尾气处理器为灰色，是否为现有设备，烦请确认需求；如需采购建议该台改为电热水洗式以适配SiH4尾气处理？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    24.能否明细各系统VMB/P具体数量及摆放位置？
    答：详见工艺设备UM表（投标人在获取招标文件后，自行登录电子交易系统下载本项目附件）。
    25.能否提供“研发中心气体管道平面图”图纸，以复核相关管道工程量？
    答：复核相关管道工程量，可参考工艺设备UM表（投标人在获取招标文件后，自行登录电子交易系统下载本项目附件）和招标文件相关附图。
    26.请确认本项目气体设备相关普氮、消防、抽风、PCW、Drain等辅助系统工作界面？
    答：工作界面分设在特气房和研究中心上、下夹层。
    27.图纸中GN2系统接至研发中心一层，烦请确认GN2系统工作界面，如在工作范围内，烦请提供研发中心一层相关GN2图纸？
    答：GN2管道不在本次施工范围内，工作界面分设在特气房和研究中心下夹层。
    28.图纸中涉及C2F6、CO2系统，招标文件无相关内容，烦请确认需求？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    29.招标文件要求特气装备及监控系统应包括如下设备：全自动气瓶柜（GC、VMB）6套、全自动气瓶架(GR、VMP)6套，该数量与图纸不对应匹配，烦请明确本次相关用气种类？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    30.招标文件第三章“采购需求”中，Plasma&Wet Scrubber需洁净室配置两台，（1）烦请确认该工艺端尾气处理器设备采购及安装是否在工作范围之内？（2）如在，相关配电、气动、泵管等管道连接工作是否在本包工作范围之内？（3）工艺尾气处理器，需要配套真空泵使用，该真空泵的设备提供及安装是否在本包范围之内？
    答：以上第（1）-（3）项全部在工作范围内，且须全面满足系统运行需要。
    31.招标文件第三章“采购需求”中，涉及CF4、H2/N2气体供应系统各一套，特气间设备及管道平面图中未见相关内容，烦请确认需求？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    32.能否提供“招标文件正文”文件可编辑档？
    答：以供应商通过招标公告规定的获取招标文件方式获取的文件版本为准。
    33.《特气招标附图3——气施-07 特气间设备及管道平面图》中，许多系统灰色标注不在本次范围。请确认灰色标注的管线及设备是否是本次工程范围？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    34.招标文件第三章采购需求中，针对项目采购货物清单，招标图纸中并无该套系统，请确认是否是图纸中的H2系统？H2/N2的气体比例是多少？
    答：(1)按PH2系统提供设备。(2)H2/N2中，H2的比例小于4%，按防爆要求配置设备。
    35.招标文件第三章采购需求中，针对设备、材料等供货范围，请确认GC/GR/VMB/VMB/尾气处理器数量，是否以图纸为准？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    36.《特气招标附图3—气施-07 特气间设备及管道平面图》中，附件图纸中AR与O2为集装格供应，与招标文件不符，请确认需求？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    37.《特气招标附图3—气施-07 特气间设备及管道平面图》中，请确认图纸中的GN2系统是否在本次范围？
    答：GN2管道不在本次施工范围内，工作界面分设在特气房和研究中心下夹层。
    38.《特气招标附图4——暖施-37 特气房管道平面图》中，图纸中CDA及THWR缺少，请确认CDA和THWR/S是否在本次范围？
    答：本图纸为特气房管线施工图，无CDA及THWR/S管线。
    39.《特气招标附图5——工艺设备平面布局图》中，图中设备是否放置在研发中心一层图？从VMB/VMP到工艺机台的管道是否在本次范围？
    答：(1)可自行作合规性优化，中标人优化方案的实施需事先征得采购人同意。(2)VMB/VMP到工艺机台的管道在本次范围之内。
    40.招标文件第三章“采购需求”的表1气瓶柜/气瓶架(GC/GR)配置要求表，从表中可以看到GC/GR采用的单瓶配置，请确定第1-11台GC/GR采用的配置方式？
    答：经采购人确认，按照双瓶气柜尺寸规格配置，具体以招标文件要求为准。
    41.招标文件第三章“采购需求”的表2阀门分配箱/阀门分配盘(VMB/VMP)配置要求表，表中定义的操作方式为VMB全自动，除了PN2的VMP半自动，PN2的VMP手动，表中操作方式描述是否准确？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    42.招标文件第三章“采购需求”中，排风系统要求“可燃气体排风管应配置阻火器”，GC/VMB设备的排风管道一般接至最近预留的排风系统，并由抽风机一并排出，全程管内封闭无外漏，这里的阻火器是否是SIH4、H2设备Vent管排至高空末端所需要的？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    43.招标文件第三章“采购需求”中，主要子系统配置规范第13项“PN2吹扫系统”要求“7N纯化器”，对纯化器的纯化指标有要求吗，是否需要去除CH4?
    答：经采购人确认，按照9N纯化器配置。
    44.特气招标附图7——暖施-14 特气房空调通风平面图（特气房废气排放接口图），研发中心有排气系统预留点位图吗？GC设备排气口径φ150，特气房废气排放接口图预留的尺寸多为φ100，图纸是否有做调整,或者并用预留管口？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准，可以自行作合规性优化，中标人优化方案的实施需事先征得采购人同意。
    45.招标文件第三章“采购需求”中，特气监控系统(GMS)硬件配置要求第3项“GDS系统”，本次项目是否需要冗余CPU？对CPU型号是否有明确要求，网络是否需要环网？本次项目是否能考虑I/O冗余20%？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    46.《特气招标附图2——特气房电气系统图~05-07》《特气招标附图6——研发中心工艺配电系统图~16-23》，能否明确给GDS系统预留的断路器大小及其对应电盘所在位置？能否明确特气间设备和研发中心设备是分两路供电还是共用一路电？GDS系统线缆是否参考图中所示线缆信号，动力线缆采用ZB-YJV，信号线缆采用ZR-KVV，对于信号线线径是否有要求？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    47.《特气招标附图5——工艺设备平面布局图》，（1）GDS系统的监控电脑是否置于F203-FMCS室内？（2）GDS系统位于研发中心的控制盘和电盘是否可以置于F125-1,F125-2技术下夹层（VMB附近）？
    答：(1)是；(2)可作合规性优化，中标人优化方案的实施需事先征得采购人同意。
    48.本包涵盖二次配系统，能否提供UM表、工艺设备水电气接口图？
    答：可参考工艺设备UM表（投标人在获取招标文件后，自行登录电子交易系统下载本项目附件）和招标文件相关附图。
    49.《特气招标附图3——气施-07 特气间设备及管道平面图》，图纸中气体房间内特气系统与招标文件中项目采购货物清单提供特气系统种类不一致，烦请确认两者优先等级？
    答：经采购人确认，图纸仅供参考，具体以招标文件要求为准。
    50.招标文件第三章采购需求的第3.2.1.5条“检验和测试要求”中，PN2未提供水增量、氧增量及颗粒度检测标准，能否提供相关检测标准？
    答：不低于特气系统检测标准。
    51.招标文件第三章“采购需求”中，针对“3.1 主要子系统配置规范”，第15项“监控系统（GMS）”技术参数及要求第5条要求“I/O卡槽及各种I/O点应不低于预留100%容量”，能否修改？
    答：经采购人确认，以招标文件要求为准。
    52.招标文件第三章“采购需求”中，针对特气监控系统(GMS)硬件配置要求的“电力盘”，此项中UPS是否是投标人提供？UPS容量30KVA是否可以根据实际需求调整？
    答：经采购人确认，UPS由中标人提供，具体以招标文件要求为准。
    注：（1）本项目实施全流程电子化交易，投标文件实施网上远程解密，投标人无需前往开标现场。
    （2）此公告视同采购文件的组成部分，与采购文件具有同等法律效力。请投标人及时下载。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：安徽大学
地址：合肥市蜀山区九龙路111号
联系方式：***
2.采购代理机构信息
名称：安徽公共资源交易集团项目管理有限公司
地址：合肥市滨湖新区南京路2588号（徽州大道与南京路交口）六楼
联系方法：***
3.项目联系方式
项目联系人：***
电话：0551-66223923