【招标公告】深硅刻蚀机国际招标公告(1)
所属地区：安徽蚌埠市
发布日期：2026-03-20
【招标公告】深硅刻蚀机国际招标公告(1)：本条项目信息由剑鱼标讯安徽招标网为您提供。登录后即可免费查看完整信息。
基本信息
| 地区 |
安徽 蚌埠市 |
采购单位 |
安徽华鑫微纳集成电路有限公司 |
| 招标代理机构 |
苏美达国际技术贸易有限公司 |
项目名称 |
深硅刻蚀机 |
| 采购联系人 |
*** |
采购电话 |
*** |
深硅刻蚀机·国际招标公告
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2026-
03-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:名称:深硅刻蚀机
数量:1台
原理及用途:
基本原理:把射频能量通过顶部线圈感应产生的磁场耦合到腔体内,交变磁场在真空环境中使气体
电离而形成等离子,底部射频产生直流偏压,顶部射频控制离子浓度而底部射频控制离子能量,加
速离子到达硅片表面产生物理和化学的刻蚀反应。
用途:本设备主要用于MEMS产品中各种硅槽刻蚀。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2640SUMECA27/06
招标项目名称:深硅刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号产品名称 | 数量简要技术规格 |
| 1 | 深硅刻蚀机1 | 他参数详见第八章 | 对于6/8英寸晶圆片，1.2μmTrench硅刻蚀@负载面积≤5%应满足以下指标（1）刻蚀 宽比：≥14:1；（2）刻蚀均匀性：≤5%（片内），≤5%（片间），≤5%（批间）。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书
如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺
书格式自拟)。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-03-19
招标文件领购结束时间:2026-03-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦9楼西侧(南京市长江路198号)
招标文件售价:￥2000/$225
其他说明:每天9: 00-11: 30,14: 00-17:30(北京时间,节假日除外)不购买招标文件的不得
参加投标。联系人邮箱:zhoucui@sumec.com.cn。
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2026-04-13 09:30
投标文件送达地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
开标地点:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
6、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市龙子湖区凤安东路2025号
联系人:***
联系方式:***
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京长江路198号9楼
联系人:江岳峰/朱志云/周 翠
联系方式:***
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人(项目负责人): 邓梦诗 (签名)
招标人或其招标代理机构: 丫二 (盖章)
剑鱼标讯安徽招标网收集整理了大量的招标投标信息、各类采购信息和企业经营信息，免费向广大用户开放。登录后即可免费查询。
